不具合の原因探求としても有効。例えば、ウエハー研磨機で、「X号機で研磨したウエハーにはパーティクルが残る」という不具合があったとしよう。従来は「純粋洗浄でパーティクルが取り切れなかったのでは？」「純粋で取れないパーティクルが付着していたのでは？」といった仮説系統図による解決を図っていた【左】。これは専門家の経験則から推論を交えるのに対し、厳密に「機能」と「方式」に分解していくオントロジー工学では、経験則が不要となる【右】
